PI 膜涂布对厚度一致性的要求很高，供胶流量的微小波动会直接反映在湿膜厚度上，因此系统设计要把重点放在压力稳定与脉动抑制上。

一、厚度一致性对供胶的要求

涂布模头属于阻流元件，入口压力的波动会按比例转化为流量波动。经验上，模头入口压力波动控制在 ±1% 以内，湿膜厚度才能稳定在工艺窗口内。

供胶泵的瞬时脉动、管路内的弹性形变以及阀门切换都会带来压力扰动，需要逐项排查。

二、脉动抑制的两种做法

• 在泵出口加装脉动阻尼器或蓄能器，吸收瞬时流量峰值；

• 缩短泵到模头的管路长度，减少管路弹性带来的滞后；

• 采用螺杆泵或双泵并联错相位供料，降低单泵脉动；

• 关键工位串入齿轮流量计，做流量闭环修正。

三、闭环与日常维护

闭环控制建议以流量计反馈为主、压力反馈为辅，避免压力信号受温度影响产生漂移。日常维护重点检查过滤器压差与阻尼器预充压力，压差上升超过 0.1 MPa 时及时更换滤芯。